加熱式電容膜片真空計 SKY@CDG160D/CDG200D INFICON SKY CDG160D和CDG200D 高溫壓力計是實(shí)現(xiàn) 精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 和CDG200D 真空計溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性
能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在1托至1000托 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場 總線接口,能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性 壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔 膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從 大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu) 勢 。INFICON CDG壓力傳感器品質(zhì)本效 益,適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。 優(yōu)勢 ·擁有成本更低,預(yù)熱速度快50%,節(jié)能,低功耗 ·易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點(diǎn) ·輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點(diǎn)偏移 ·診斷端口用于快速維修和維護(hù) ·兩年保修服務(wù), HT 加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽 命 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是最嚴(yán)苛的等離子 應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn) ·合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、EN、UL、SEMI、RoHS 應(yīng)用范圍 ·蝕刻、CVD、PVD及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程 ·化學(xué)和腐蝕性高溫過程 ·需要真空計保護(hù)的一般薄膜和真空過程
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1) 優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設(shè)置 2) 不能使用現(xiàn)場總線接口
粗體=標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 其他法蘭類型可按要求提供。
SKY@CDG160D/CDG200D 規(guī)格(以托為單位的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品) 測量范圍 | 托 | 1000 | 100 10 | 1 | FS(滿刻度) | 毫巴 帕 | 133,322 1333 | 13,332 1,333 133 13.3 | 133 1.3 | 精度1) | 讀數(shù)% |
| 0.4 |
| 溫度效應(yīng) |
|
|
|
| 需點(diǎn) | %FS/℃ |
| 0.005 |
| 滿量程 | 讀 數(shù) % / ℃ |
| 0.02 |
| 最大壓力 | 千帕(絕對) | 400 | 260 260 | 260 | 分辨率 | %FS |
| 0.003 |
| 讀數(shù) | %FS |
| 0.01 |
| 建議的讀數(shù) | %FS |
| 0.05 |
| 建議的控制 壓力 | %FS |
| 0.5 |
| 溫度 |
|
|
|
| 運(yùn)行(環(huán)境)2 | ℃ |
| +10 .+50 |
| 在法蘭處烘烤 | ℃ |
| ≤200 |
| 存儲 | ℃ |
| -20 .…+65 |
| 電源電壓 |
|
| +21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%) |
| 加熱時功耗 |
|
|
|
| CDG160D | W |
| ≤18 |
| CDG200D | W |
| ≤25 |
| 運(yùn)行溫度時的功耗 CDG160D CDG200D | W W |
| ≤12 ≤18 |
| 輸出信號(模擬) | 伏(直流) |
| 0.…+10 |
| 響應(yīng)時間3) | 毫秒 |
| 30 |
| 防護(hù)等級 |
|
| IP 40 |
| 標(biāo)準(zhǔn) CE符合性 ETL認(rèn)證 SEMI合規(guī)性 |
|
| EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S-2 |
| 電氣連接 |
|
| D-Sub,15針,公頭 |
| 設(shè)定值 |
|
| 2個設(shè)定點(diǎn)(SP1、SP2) |
| 繼電器觸點(diǎn) | 伏(直流)/安(直 |
| ≤30/≤0.5 |
| 滯后 | 流 ) %FS |
| 1 |
| 診斷端口 協(xié)議 讀 設(shè)置 暴露于真空的材料 |
|
| RS232-C 壓力、狀態(tài)、ID 設(shè)定點(diǎn)、過濾器、調(diào)零、出廠設(shè)置復(fù)位、直流偏置 氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?) |
|
1)在25°℃環(huán)境運(yùn)行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性,運(yùn)行兩小時后無溫度效應(yīng) 2) 環(huán)境溫度>40℃,可能會使表面溫度高于SEMIS2 合規(guī)水平—標(biāo)記“小心燙傷!" 3)增加10.…90% FS 4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
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SKY@CDG160D/CDG200D DEVICENET規(guī)格 DeviceNetTM | 協(xié)議 | DeviceNetTM,僅第2組從屬 | 數(shù)據(jù)率開關(guān) 千波特 | 125、250、500或可網(wǎng)絡(luò)編程 | 電纜長度 125 kbps 米(英尺) 250 kbps 米(英尺) 500 kbps 米(英尺) | 500(1650) 250 (825) 100 (330) | MAC ID | 兩個開關(guān)(地址00-63)或可網(wǎng)絡(luò)編程 | 數(shù)字功能 | 讀取壓力,選擇單位:托、毫巴、帕 脫氣功能,皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測真空計狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯時的行為 詳細(xì)的警報和警告信息 | 模擬功能 | 0 …10伏模擬輸出壓力指示 兩個設(shè)定點(diǎn)繼電器A+B | 視覺通訊指示燈 | LED網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)(綠色/紅色) LED模塊狀態(tài)(綠色/紅色) | 規(guī)格 | DeviceNetTM“真空計設(shè)備概況" | 設(shè)備類型 | “CG"表示組合儀表 | /O從屬傳訊 | 只輪詢 | 設(shè)定點(diǎn)繼電器 范圍 繼電器觸點(diǎn) 滯后 觸點(diǎn)額定值 | 毫巴 讀數(shù)% 伏/安(直流) | 2 1×10°…100 常開,無電勢 10 60/0.5 | DeviceNetTM的電源電壓 真空計的電源電壓 DeviceNetTM的連接器 | 伏/安(直流) 伏/安(直流) | +11-+25/0.5 +20 -+28/0.8 微型,5針 D-Sub,15針,公頭 | 真空計的連接器(模擬輸出、電源電壓、 設(shè)定點(diǎn) |
PROFIBUS Profibus
D規(guī)格 DP
波特率 | 千波特 兆 波 特 | 9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12 | 地址 | 兩 個 開 關(guān) ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 網(wǎng) 絡(luò) 編 程 | 數(shù)字功能 |
| 讀取壓力,選擇單位:托、毫巴、帕 脫氣功能,皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測真空計狀態(tài)、燈絲狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯時的行為 詳 細(xì) 的 警 報 和 警 告 信 息 | 模擬功能 |
| 0…10伏模擬輸出壓力指示 兩 個 設(shè) 定 點(diǎn) 繼 電 器 A + B | 設(shè)定點(diǎn)繼電器 |
| 2 | 范圍 | 毫巴 | 1×10?.…100 | 繼電器觸點(diǎn) |
| 常開,無電勢 | 滯后 | 讀 數(shù) % | 10 | 觸點(diǎn)額定值 | 伏/安(直流) | ≤30/≤0.5 | Profibus DP的連接器 |
| D-Sub,9 針,母頭 | BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設(shè) 定 點(diǎn) ) |
| D-Sub,15 針,公頭 |
SKY@CDG160D/CDG200D
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